Zitieren
Zitierform:
Guenther, Kay-Michael / Gimpel, Thomas / Kontermann, Stefan / et al: Investigation of the sulfur doping profile in femtosecond-laser processed silicon. 2013.
Zugriffsstatistik

Gesamt:
12 Monate:
Volltextzugriffe:
Metadatenansicht:
Volltextzugriffe:
Metadatenansicht:
Rechte
Nutzung und Vervielfältigung:
Dieser Beitrag ist mit Zustimmung des Rechteinhabers aufgrund einer (DFG-geförderten) Allianz- bzw. Nationallizenz frei zugänglich.