Beiträge zur Qualitätskontrolle von Strukturen, hergestellt durch Zwei-Photonen-Polymerisation

Die vorliegende kumulative Dissertation zum Thema Zweiphotonenpolymerisation (2PP) befasst sich mit der Untersuchung von Strukturen, die mithilfe dieser Methode hergestellt werden. Die Arbeit umfasst drei wissenschaftliche Veröffentlichungen. In einer ersten Arbeit wird die Expansion von Strukturen in Abh¨angigkeit von verschiedenen Fabrikationsparametern gezeigt. Die Ergebnisse zeigen, dass die beschriebene Expansion in Baurichtung von mehreren Faktoren abhängt, wie beispielsweise der Prebake-Zeit des Polymeres und den Hatching- sowie Slicingdistanzen. In der zweiten wissenschaftlichen Veröffentlichung werden komplexe mittels 2PP-hergestellte Strukturen mittels Röntgenmikroskopie untersucht. Die Untersuchungen zeigen, dass eine Anpassung des Substrates sowie der Herstellungsweise der Strukturen notwendig ist. Erstmals erfolgte eine Untersuchung mittels Röntgenmikroskopie zur Überprüfung der Qualität der hergestellten Strukturen. Die Bestimmung der Auflösungsgrenze, sowie Präparationsmethoden und der Nachweis von nicht sichtbaren Defekten erfolgte. Die Erstellung eines Testartefaktes für die Zweiphotonenpolymerisation wird innerhalb der dritten wissenschaftlichen Arbeit der kumulativen Dissertation gezeigt. Es handelt sich um das erste Testartefakt für die 2PP. Daher wurden Konstruktionsgrundsätze von bekannten anderen Strukturen abgeleitet und auf das Verfahren angepasst. Weiterhin werden die Eigenschaften des Testartefaktes dargestellt und beispielhaft die Verwendung eines solchen Testartefaktes aufgezeigt. Die Nützlichkeit und Anwendbarkeit eines Testartefaktes wird an verschiedenen Beispielen dargestellt. In der Arbeit werden die wissenschaftlichen Veröffentlichungen in einen gemeinsamen Kontext gesetzt, um die Qualitätsinfrastruktur in der Zweipohotonenpolymerisation aufzuzeigen. Es werden fehlende Forschungsbeiträge diskutiert, die identifizert wurden und Ansätze aufgezeigt, das Verfahren zu einer robusten, industriell anwendbaren Technologie zu bringen. Insgesamt zeigt die Arbeit, dass die Zweiphotonenpolymerisation eine vielversprechende Methode zur Herstellung von mikroskopischen Strukturen darstellt und dass weitere Forschung notwendig ist, um Strukturen in dauerhaft gleichbleibender Qualität herzustellen.

This cumulative dissertation on two-photon polymerisation (2PP) deals with the investigation of structures produced using this method. The work comprises three scientific publications. In the first paper, the expansion of structures is shown as a function of various fabrication parameters. The results show that the described expansion in the build direction depends on several factors, such as the prebake time of the polymer and the hatching and slicing distances. In the second scientific publication, complex structures produced using 2PP are analysed using X-ray microscopy. The investigations show that an adaptation of the substrate and the manufacturing method of the structures is necessary. For the first time, X-ray microscopy was used to analyse the quality of the manufactured structures. The resolution limit, preparation methods and the detection of invisible defects were determined. The creation of a test artefact for two-photon polymerisation is shown in the third scientific paper of the cumulative dissertation. This is the first test artefact for 2PP. Therefore, design principles were derived from known other structures and adapted to the process. Furthermore, the properties of the test artefact are presented and the use of such a test artefact is shown as an example. The usefulness and applicability of a test artefact is illustrated using various examples. In the thesis, the scientific publications are placed in a common context in order to demonstrate the quality infrastructure in two-photon polymerisation. Missing research contributions that have been identified are discussed and approaches are shown to bring the process to a robust, industrially applicable technology. Overall, the work shows that two-photon polymerisation is a promising method for the production of microscopic structures and that further research is needed to produce structures of consistent quality in the long term.

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